武汉精密光学平板欢迎来电 志城精研

自动化加工过程：自动化加工系统平台和面包板的特殊之处是采用自动轨道机械哑光表面加工，比老旧的平台产品更加平滑、平整。这些平台经过改善的表面抛光处理后，表面平整度在1平方米（11平方英尺）内可达±0.1毫米（±0.004英寸），为安装部件提供了接触表面，不需要使用磨具对顶面进行打磨。平台和面包板设计还可以采用大半径圆角，这样能减少实验室中的尖锐边缘，提高安全性。

光学平板在高精度的科学实验中，也是为严谨的科学实验做出了极大地贡献。下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。

光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光，它通常作为分光镜或窗口等透过型元件，或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。

一般分为三种材料类型的光学平板：BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。其中大部分产品有各种指标的组合：形状(圆形或方形)，面精度(λ，λ/4，λ/10，λ/20)，多种厚度和平行度。BK7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外，SFS的温度稳定性，耐热性都很好。准分子激光用SFS，用于高功率的准分子激光 KrF(248nm)时，具有低萤光特性。去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹)，对于改善膜的质量，提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料，温度和研磨过程，减少次表面缺陷。

用牛顿环检验一般会有样板，如果是检验光学平板平整度，用的样板就是平面样板。有生产厂家专门做这个的。   检验方法：先将样板标准面和待检验平板表面擦静，然后使这两个面紧密接触，并尽量排除两接触面之间的空气，然后从样板上方观察会发现彩色的光圈环带。图纸上应该有要求你做到几个光圈和几道局部光圈，然后就可以知道哪个地方高了哪个地方低了。    除用样板以外，干涉仪也通常用来检测光学零件表面的精度

这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。

随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。