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发布时间:2022-09-05 13:35:50
控制振动的作用。将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性,且可以降低在外界的影响下产生共振的几率,提高系统的稳定性。控制静力矩的作用。光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率,从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下,具有较高硬重比的平台可以在Z小的重量下产生Z小的变形,增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比,达到提高系统性能的目的。
光学平台的结构
光学隔振平台外框采用刚性强,变形小,焊接性能好的精良中碳钢板;隔振层利用固有频率低,阻振性能强的蜂窝结构材料,能Z大限度控制振动的响应。面板采用高导磁不锈钢板,精磨后具有实用、美观和耐磨等特点。粗糙度0.8~1.6μm,平面度0.05~0.10mm/cm2。
(1)隔振基础部分可根据具体要求。
(2)调节支撑部分:采用耐磨丝杆和平面推力球轴承,使用时轻松可靠。
(3)自动平衡系统:采用空气伺服系统,自动调整水平。它的突出特点是把系统对微振的响应反馈到系统中,改变隔振特性,提高隔振效果,在超载偏重的实验条件下瞬间达到初始的平衡状态。
随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
精密光学平台在耐油性能方面还是会有着明显的提高,尤其是在不受到温度变化以后,带来的影响上还是会越来越大的。由此可见,在市场上推广的时候,还是会知道其隔振平台的光学设计上还是会呈现为多元化的特点,在其功能方面来说,都会了解到相互之间的技术特性,在销售的时候还是会为客户带来的选择还是会有着不同的差异性的,为客户带来的选择还是会越来越不一样的。
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